在精密機(jī)械零件加工中，光學(xué)機(jī)構(gòu)幾何量測(cè)微測(cè)量儀按照參照工具基本上可以為分為四大類：干涉儀、自準(zhǔn)直光管式儀器、顯微鏡式儀器、投影式儀器。

　　在精密機(jī)械零件加工中，顯微鏡式儀器和投影式儀器，是把被測(cè)量件經(jīng)光學(xué)系統(tǒng)放大成像，采用光學(xué)的示值系統(tǒng)對(duì)象進(jìn)行測(cè)量。放大多少倍測(cè)量，比目視不放大瞄準(zhǔn)測(cè)量的精度也提高多少倍。

　　在精密機(jī)械零件加工中，自準(zhǔn)直光管式儀器由望遠(yuǎn)鏡和平行光管組成，用準(zhǔn)直光管的示值系統(tǒng)對(duì)用望遠(yuǎn)鏡獲得的像進(jìn)行測(cè)量。其放大倍率M（望）是望遠(yuǎn)鏡的物鏡焦距F（物）和目鏡焦距F（目）之比：M（望）＝F（物）／F（目）。它與被測(cè)精密機(jī)械零件加工物體的位置無關(guān)，因此擴(kuò)大了儀器的用途。自準(zhǔn)直光管光學(xué)示值系統(tǒng)是一些光學(xué)儀器的組成部分，如與正切機(jī)構(gòu)可以組成測(cè)微機(jī)構(gòu)光學(xué)比較儀及０．２μｍ的影屏讀數(shù)光學(xué)比較儀，也可以單獨(dú)使用。

　　在精密機(jī)械零件加工中，干涉儀是根據(jù)光波干涉原理設(shè)計(jì)的測(cè)微機(jī)構(gòu)，以光源波長為基準(zhǔn)實(shí)現(xiàn)最微量的測(cè)微機(jī)構(gòu)。特別是激光光源的出現(xiàn)和激光技術(shù)、電子技術(shù)的發(fā)展，更擴(kuò)展了精密機(jī)械零件加工的干涉測(cè)微機(jī)構(gòu)的應(yīng)用范圍。